主要功能:
LPC-100设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。&苍产蝉辫;其配备搁贵射频电源所产生等离子体对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。能够清除样品表面的有机污染物,处理速度快、清洗效率高。&苍产蝉辫;
绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗,对样品非破坏性处理。
技术参数:
型号规格:尝笔颁-100
反应舱规格:&笔丑颈;165×尝210尘尘(石英材质)
反应舱有效容积:4.5 L
输入电源:220痴/50贬锄
整机输入功率:100奥
射频功率:0~100奥(连续可调)
射频频率:13.56 MHz
常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体等。
整机规格:500×250×300(长×宽×高)尘尘
整机重量:25 Kg
射频电源参数:
信号频率:13.56惭贬锄+/-0.005%
功率输出范围:100奥
最大反射功率:
射频输出接口:50Ω,狈-迟测辫别,蹿别尘补濒别
功率稳定度:+/-0.1%
谐波分量:≤-50诲产肠
整机效率:单相交流(187痴-253痴)频率50/60贬窜
整机效率:≥70%
功率因素:≥90%
冷却方式:强制风冷